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J-GLOBAL ID：201202210826896177   整理番号：12A1442499

微細尺度及びナノ尺度ブリッジ構造内の熱的位置決定のスケーリング

Scaling of Thermal Positioning in Microscale and Nanoscale Bridge Structures

著者 (2件)： MAGHSOUDI Elham (Louisiana State Univ., LA) ,  MARTIN Michael James (Louisiana State Univ., LA)
資料名： Journal of Heat Transfer  (Journal of Heat Transfer)
巻： 134  号： 10  ページ： 102401.1-102401.7  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： C0658A  ISSN： 0022-1481  CODEN： JHTRAO  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微細尺度及びナノ尺度における3次元2重クランプ型ブリッジのシミュレーションを行って一定範囲の寸法,物質,周囲熱伝達条件,及び熱負荷にわたる微細尺度及びナノ尺度ブリッジ構造の特性に対する普遍的スケーリング則を求めた。正弦波状加熱を付加するとブリッジ内に振動を誘起する一方で一定の熱負荷は静的構造特性を誘起する。熱伝導方程式を差分法により数値的に解いてブリッジ内の温度分布を求めた。次に壁面温度に関連して温度差による熱応力を計算した。更に熱的構造方程式を数値的に解いて梁に沿った変位を求めた。本考察は3種類の物質:結晶シリコン,SiC及びCVDダイヤモンドについて実施した。周囲の冷却は本デバイスの変位に顕著に影響を与える。Biot数はブリッジの無次元変位を決めることを示した。

シソーラス用語： 微細構造 ,  ナノ構造 ,  ブリッジ回路 ,  熱特性 ,  位置決め ,  スケーリング【計数】 ,  シミュレーション ,  熱伝達 ,  熱負荷 ,  スケール則 ,  *熱伝導方程式 ,  差分法 ,  *温度分布 ,  熱応力
準シソーラス用語： *ナノブリッジ ,  位置決定

分類 (2件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  比熱・熱伝導一般  (BL05021E)

タイトルに関連する用語 (5件)： 微細 ,  尺度 ,  ブリッジ ,  位置決定 ,  スケーリング