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J-GLOBAL ID：201202210952492847   整理番号：12A1022837

強誘電性ナノチューブ

Ferroelectric Nanotubes

著者 (1件)： TOON John (Georgia Inst. Technol.)
資料名： Ceramic Industry  (Ceramic Industry)
巻： 162  号： 6  ページ： 28-29  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： B0243A  ISSN： 0009-0220  CODEN： CEINA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 米国ジョージア工科大学で開発した自立PZT(ジルコニウム酸チタン酸鉛)ナノ構造について紹介した。これは,PZTの圧電特性をより高い性能のものにすることが期待されている。このナノ構造は「ソフトテンプレート溶浸」法と呼ばれるオークリッジ国立研究所で開発された技術を適用することで達成できた。そのプロセスはSi基板上にフォトリソグラフィによってテンプレートをパターン形成し,その上にアルミナ薄層を原子層堆積法で成膜する。このテンプレートをPZTの前駆体溶液に浸漬し,熱分解工程を経て熱処理によってPZTナノチューブのアレイから成る自立ナノ構造を得るものである。

シソーラス用語： *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *ナノチューブ ,  *アレイ ,  ナノ構造 ,  鋳型反応

分類 (1件)： セラミック・陶磁器の製造  (YC03020V)

タイトルに関連する用語 (2件)： 強誘電性 ,  ナノチューブ