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J-GLOBAL ID：201202211036267877   整理番号：12A0346110

複数不良領域を持つ回路歩留まり解析のための逐次重点的サンプリング法

著者 (4件)： 片山健太朗 (京大 大学院情報学研究科) ,  筒井弘 (京大 大学院情報学研究科) ,  越智裕之 (京大 大学院情報学研究科) ,  佐藤高史 (京大 大学院情報学研究科)
資料名： 情報処理学会シンポジウム論文集  (情報処理学会ワークショップ論文集)
巻： 2011  号： 5  ページ： 93-98  発行年： 2011年08月24日 
JST資料番号： Y0978B  ISSN： 1344-0640  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： ランダムばらつきの影響はプロセスの微細化とともに深刻となってきており,特に最小寸法のトランジスタを多数使用するSRAMセルなどにおいては統計的手法を用いた歩留まり解析が不可欠である。これまで我々は,パーティクルフィルタ(PF)を用いた逐次重点的サンプリングによる解析手法を開発し,高次元,低不良率の問題を高速に解析できることを実証してきたが,不良率への寄与の大きい領域が複数ある場合には,再抽出処理により粒子が一部の領域へ偏って配置され,他の領域を正しく追跡できない問題があった。本稿では,不良領域探索において検出した各不良サンプル位置を初期位置とする複数のPFを用いることで,再抽出による領域間の粒子偏在を防止する手法を提案し上記問題を解決する。本手法を6トランジスタSRAMセル回路のRead Noise Margin解析(6次元)に適用した結果,全ての領域の粒子数を維持し,正確な推定を安定に行うことができた。また,提案手法の最適化への応用例も示す。(著者抄録)

シソーラス用語： 半導体プロセス ,  *微細加工 ,  *歩留り ,  トランジスタ ,  フィルタ ,  *標本抽出 ,  粒子 ,  分散【variance】 ,  SRAM ,  最適化 ,  粒子フィルタ ,  改変
準シソーラス用語： *逐次重点的サンプリン ,  粒子偏在

分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  システム・制御理論一般  (IA02010H)

タイトルに関連する用語 (4件)： 歩留まり ,  解析 ,  逐次 ,  サンプリング