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J-GLOBAL ID：201202211088291130   整理番号：12A0997097

レーザ化学気相成長によるb軸配向BaTi₂O₅ナノピラーの成長

Growth of b-axis-oriented BaTi₂O₅ Nanopillars by Laser Chemical Vapor Deposition

著者 (4件)： GUO Dongyun (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  ITO Akihiko (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  TU Rong (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  GOTO Takashi (Tohoku Univ., Sendai, JPN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 508  ページ： 185-188  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ナノワイヤおよびナノピラーのような一次元の強誘電体材料は圧電体,誘電体および光電デバイス応用のために非常に関心が持たれている。本研究では前駆体としてバリウムジピバロイルメタニド(Ba(dpm)₂)とチタニウムイソプロポキシジピバロイルメタニド(Ti(OiPr)₂(dpm)₂)を使用し,それらをそれぞれ567Kと441Kに加熱して,MgO(100)単結晶基板上にb軸配向BaTi₂O₅ナノピラーをレーザCVDにより形成し,それらのナノ構造を研究した。その結果,120sという短時間で幅250~400nmで高さが2.5μmのピラーを得ることができた。成長速度は約75μmh^-1であった。

シソーラス用語： 基板 ,  *酸化マグネシウム ,  *レーザCVD ,  *チタン錯体 ,  配位子 ,  ジケトン ,  脂肪族ケトン ,  *バリウム錯体 ,  酸素 ,  化学蒸着 ,  *チタン酸バリウム ,  配向 ,  *結晶成長 ,  ナノ構造 ,  柱 ,  固相 ,  微細構造 ,  *強誘電体
準シソーラス用語： dpm ,  *ナノピラー ,  結晶相 ,  *反応性蒸着

分類 (2件)： 酸化物の結晶成長  (BK13050I) ,  強誘電体,反強誘電体,強弾性  (BM05030B)

物質索引 (1件)： ジピバロイルメタン

タイトルに関連する用語 (5件)： レーザ ,  化学気相成長 ,  配向 ,  ピラー ,  成長