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J-GLOBAL ID：201202211279009280   整理番号：12A1217330

角度分解XPSに対する表面粗さの影響

Effect of surface roughness on angle-resolved XPS

著者 (8件)： KATONA L. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  BIANCHI D. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  BRENNER J. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  VORLAUFER G. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  VERNES A. (Austrian Center of Competence for Tribology, Wiener Neustadt, AUT) ,  VERNES A. (Vienna Univ. Technol., Vienna, AUT) ,  BETZ G. (Vienna Univ. Technol., Vienna, AUT) ,  WERNER W. S. M. (Vienna Univ. Technol., Vienna, AUT)
資料名： Surface and Interface Analysis  (Surface and Interface Analysis)
巻： 44  号： 8  ページ： 1119-1123  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 角度分解XPSに対する表面粗さの影響を調査するために,周期的な粗表面の原子間力顕微鏡マッピングの手法を,多面体モデルの拡張と組み合わせた。非一様有理Bスプラインを適用して,原子間力顕微鏡像を数値的に補間した。得られた法線に従ってすべて配向されている任意の粗面がほぼ無限小平面の有限集合で近似され,一方非一様有理Bスプラインは表面を補間した。Beer-Lambe則とともに,NURBSベースの補間を用いることにより,実験的なAR-XPSを処理しながら,表面粗さが適正に考慮されることを示した。しかし,実際のバージョンにおける提案した方式は,調査した領域の形状と構成する層の厚みの両者の入力として必要であった。

シソーラス用語： *X線光電子分光法 ,  *表面粗さ ,  原子間力顕微鏡 ,  Bスプライン ,  角度分解分光法
準シソーラス用語： 非一様有理Bスプライン

分類 (1件)： 電子分光スペクトル  (BM09060K)

タイトルに関連する用語 (3件)： 分解 ,  XPS ,  表面粗さ