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J-GLOBAL ID:201202211286008214   整理番号:12A1659863

プレセラミックポリマー修正Ag/ポリ(ヒドリドカルビン)p-Siショットキーバリヤダイオードの電気的特性化

Electrical characterization of a pre-ceramic polymer modified Ag/poly(hydridocarbyne)/p-Si Schottky barrier diode
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巻: 23  号: 12  ページ: 2282-2288  発行年: 2012年12月 
JST資料番号: W0003A  ISSN: 0957-4522  CODEN: JMTSAS  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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本研究では,ポリ(ヒドリドカルビン)(PHC),加熱によりセラミックに変換できるプレセラミックポリマー,を用いてAg/PHC/p-Si金属-中間層-半導体(MIS)ダイオードを作製した。容易な処理ステップにより得られたダイオードは,良好な整流挙動と十分な逆バイアス飽和を示した。順方向バイアスI-V特性を用いることにより,Ag/PHC/p-Si MIS構造の理想係数(n)および障壁高(Φb)が,それぞれ,1.93および0.94eVであることが分かった。1より大きい理想係数の値による非理想I-V挙動は直列抵抗によるものであった。Ag/PHC/p-Si MISダイオードに対して得られた0.94eVのΦbの値は,通常のAg/p-Siショットキーダイオードの0.84の値よりも大きかった。これは,PHC中間層がSiの空間電荷領域に影響することによるものであった。MISダイオードの界面状態密度を測定し,Ag/p-Si接合の界面状態密度は,金属と半導体中に挿入されるPHC有機層により著しく変化することが分かった。さらに,チャンとノルデの関数を用いて,障壁高と直列抵抗値を抽出し,得られた結果を比較した。Copyright 2012 Springer Science+Business Media, LLC Translated from English into Japanese by JST.
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