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J-GLOBAL ID：201202211642445438   整理番号：12A1771663

テンプレート法によるCuナノワイヤ面ファスナの作製と評価

著者 (1件)： 巨陽 (名古屋大 大学院工学研究科)
資料名： 名古屋大学電子光学研究のあゆみ  (Nagoya University Ayumi(Progress Steps) of the Electron Optics Research)
号： 24  ページ： 48-50  発行年： 2012年10月26日 
JST資料番号： X0925A  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： シリコン基板上に垂直で高密度なCuナノワイヤアレイを有するCuナノワイヤ面ファスナをテンプレート法を用いて作製した。また,ナノワイヤの表面観察,元素組成と結晶構造解析を行い,2つのCuナノワイヤ面ファスナを接合させたときの機械的特性(せん断応力,引張応力)を評価した。せん断応力と引張応力は,ともに予荷重(PR)の増加に伴って増大し,PR=77kPaのときに最大となり,それ以上のPRでは減少した。

シソーラス用語： *ナノワイヤ ,  *銅 ,  結晶構造解析 ,  剪断応力 ,  引張応力 ,  ファスナ ,  鋳型反応 ,  電子顕微鏡観察 ,  電子エネルギー損失スペクトル ,  *ナノ構造 ,  配線
準シソーラス用語： *面ファスナ ,  テンプレート【鋳型反応】 ,  走査型電子顕微鏡法 ,  透過型電子顕微鏡法 ,  *ナノワイヤアレイ ,  銅配線

分類 (1件)： 金属の機械的性質  (BL01022T)

タイトルに関連する用語 (6件)： テンプレート ,  Cu ,  ナノワイヤ ,  面ファスナ ,  作製 ,  評価