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J-GLOBAL ID:201202211716924708   整理番号:12A1245883

空気にさらされた酸化モリブデン薄膜の仕事関数の回復

Work function recovery of air exposed molybdenum oxide thin films
著者 (4件):
資料名:
巻: 101  号:ページ: 093305-093305-4  発行年: 2012年08月27日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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真空アニーリングを用いて空気にさらされた酸化モリブデン薄膜の著しい仕事関数(WF)の回復を報告する。1時間の大気曝露後のMoOx膜上の酸素が多い吸着物質の薄い層と同様にMoOxのWFの急激な減少(6.8eVから5.6eVに)を観察した。曝露されたMoOxのWFが,真空アニーリングにおいて温度を高くすると徐々に回復し始め,WF回復の飽和が450°CでWF~6.4eVにおいて観察された。さらにアニールされたMoOxと銅フタロシアニン(CuPc)間の界面形成を研究した。CuPcの最高占有分子軌道(HOMO)準位はほとんどフェルミ準位にピン止めされ,真空アニールMoOx膜を用いての効率的な正孔注入の可能性が示唆された。(翻訳著者抄録)
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