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J-GLOBAL ID:201202211805346653   整理番号:12A0722486

転写捺染に使う台座形をしたエラストマスタンプにより増大した付着

Enhanced adhesion with pedestal-shaped elastomeric stamps for transfer printing
著者 (7件):
資料名:
巻: 100  号: 17  ページ: 171909-171909-4  発行年: 2012年04月23日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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”台座”形をしたミクロスケールのエラストマレリーフ構造から,転写捺染を介して決定論的な材料集積を行うため設計したスタンプにおいて増大した操作性が得られる。付着の実験測定の結果と有限要素分析は両方共,特定の幾何学構造で,付着強度の異常に大きい増大(15×)が実現されることを示す。シリコンのマイクロスケール板と超薄窒化ガリウム発光ダイオードの付着被覆がないシリコン基板上への転写捺染を行って,この種のスタンプから生じる集積でのいくつかの可能性が実証された。これらは不均一材料の集積が関係するものを含めて多様な応用に興味がある。(翻訳著者抄録)
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分類 (1件):
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固体デバイス製造技術一般 
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