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J-GLOBAL ID:201202212047279202   整理番号:12A0834169

褶曲構造と反射防止皮膜とに基づく狭帯域フィルタ

Narrow line-width filters based on rugate structure and antireflection coating
著者 (5件):
資料名:
巻: 520  号: 16  ページ: 5447-5450  発行年: 2012年06月01日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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褶曲構造と反射防止(AR)皮膜を組み合わせて,反射スペクトルの透過帯域で高い透過率を持つフィルタを設計した。ある条件下において,基板の屈折率は傾斜屈折率被膜によって空気側の屈折率に「変換」されることが分かった。低屈折率材SiO2と高屈折率材Nb2O5を急速に変化させながら堆積することによって傾斜屈折率被膜を作製する方法を紹介し,この方法を用いて褶曲構造を作製した。屈折率が1.23のAR被膜を,斜め蒸着技術によって褶曲構造上に成長させた。組み合わせた構造に関する光学測定から,反射帯近傍の波長域では優れた透過率,および阻止帯域では高い反射率を持つことが分かった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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光デバイス一般 
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