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J-GLOBAL ID：201202212061807882   整理番号：12A0268030

ZnSナノワイヤアレイのエピタキシー成長とその紫外線検知への応用

The epitaxial growth of ZnS nanowire arrays and their applications in UV-light detection

著者 (4件)： LIANG Yao (Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN) ,  LIANG Hui (Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN) ,  XIAO Xudong (Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN) ,  HARK Suikong (Chinese Univ. Hong Kong, Hong Kong, CHN)
資料名： Journal of Materials Chemistry  (Journal of Materials Chemistry)
巻： 22  号： 3  ページ： 1199-1205  発行年： 2012年01月21日 
JST資料番号： W0204A  ISSN： 0959-9428  CODEN： JMACEP  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 半導体硫化亜鉛の光検出材を合成した。GaO薄膜ができたGaAsB結晶上にジエチル化合物のMOCVDで垂直整列ZnSナノワイヤアレイをエピタキシー成長させた。Gaが触媒とドーパントになり,効率が高い。ワイヤの密度は調整可能で,直径は少し可能である。このナノワイヤをシリカ層を持つSi基板に移してPMMAに包埋し,Cr/Au電極の電子ビーム蒸着により光検出器とした。単一ナノワイヤ検出器と同様に紫外線に感じ,可視光に応答しないが,アレイ素子の方が光電流が安定し,ざっと5ケタ高い。アレイ素子はまた応答が速く,繰り返し性がよいので,可視光不感紫外線検知器によい。

シソーラス用語： *硫化亜鉛 ,  *ナノ構造 ,  *細線 ,  光検出器 ,  *紫外検出器 ,  *エピタクシー ,  *分子配向 ,  MOCVD ,  *ヒ化ガリウム ,  *ホウ素化合物 ,  ドーパント ,  ガリウム ,  ウエハ【IC】 ,  電子ビーム蒸着 ,  感受性 ,  速度 ,  光電流 ,  安定性 ,  応答 ,  測定精度
準シソーラス用語： *エピタクシー成長 ,  シリコンウエハ ,  *ナノワイヤアレイ ,  応答速度 ,  繰返し性 ,  *垂直配向 ,  電流応答

分類 (3件)： 塩  (CD01050V) ,  光伝導,光起電力  (BM03050J) ,  半導体の結晶成長  (BK13040X)

タイトルに関連する用語 (5件)： ZnS ,  ナノワイヤアレイ ,  エピタキシー成長 ,  紫外線 ,  応用