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J-GLOBAL ID：201202212077286564   整理番号：12A0296874

選択除去によるテンプレート集合体中の初期成分集合のモデル化と特性化

Modeling and Characterizing Initial Component Assembly in Templated Assembly by Selective Removal

著者 (5件)： JUNG Sunghwan (Dankook Univ., Yongin-si, KOR) ,  EID Feras (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  EID Feras (Intel Corp., AZ, USA) ,  LIVERMORE Carol (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA) ,  LIVERMORE Carol (Northeastern Univ., MA, USA)
資料名： IEEE Transactions on Nanotechnology  (IEEE Transactions on Nanotechnology)
巻： 11  号： 1  ページ： 152-159  発行年： 2012年01月 
JST資料番号： W1355A  ISSN： 1536-125X  CODEN： ITNECU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 選択除去によるテンプレート集合(TASR)時に起きる初期集合過程を定量的にモデル化し特性化した。このモデルはTASRの以前の解析的取扱いを補完する。モデルは成分と集合基板の相互作用のジオメトリが,平均流体流と共に,流体効果が成分を駆動して集合部位に最初に置く環境を予測するかを示す。モデルの予測を実験で確認した。これらの結果を用いて,スケーリングの傾向がTASRの初期集合と選択除去過程の有効性に如何に影響するかを同定した。

シソーラス用語： *自己集合 ,  *除去 ,  モデリング ,  キャラクタリゼーション
準シソーラス用語： *テンプレート集合 ,  選択集合 ,  *選択除去 ,  特性化

分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (6件)： テンプレート ,  集合体 ,  初期 ,  集合 ,  モデル化 ,  特性化