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J-GLOBAL ID:201202212394401158   整理番号:12A0029971

NEMS静電気スイッチのプルイン不安定性に対する表面効果の影響

Influence of surface effects on the pull-in instability of NEMS electrostatic switches
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巻: 21  号: 50  ページ: 505708.1-505708.9  発行年: 2010年12月17日 
JST資料番号: W0108A  ISSN: 0957-4484  CODEN: NNOTER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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