BYSTROV Yu. A. について
St. Petersburg State Electrotechnical Univ., 197376, St. Petersburg, RUS について
VETROV N. Z. について
SED-SPb Co., 194156, St. Petersburg, RUS について
LISENKOV A. A. について
Russian Acad. of Sciences, Inst. of Problems of Mechanical Engineering, 199178, St. Petersburg, RUS について
Technical Physics Letters について
アーク放電 について
プラズマCVD について
被覆 について
窒化アルミニウム について
チタン化合物 について
窒化物 について
プラズマ化学蒸着 について
放電プラズマ について
その他の無機化合物の結晶成長 について
真空アーク について
放電プラズマ について
アルミニウム について
窒化物 について
プラズマ について
化学合成 について