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J-GLOBAL ID：201202213306567633   整理番号：12A0618342

LCD(液晶ディスプレイ)と紫外検出器とに対するCoドープZnO透明導電膜

Co-doped ZnO Transparent Conductive Films for LCD and UV Detectors

著者 (2件)： YUAN Yu-Zhen (Shandong Univ. Technol., Zibo, CHN) ,  WANG Hui (Shandong Univ. Technol., Zibo, CHN)
資料名： Key Engineering Materials  (Key Engineering Materials)
巻： 500  ページ： 226-230  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0744C  ISSN： 1013-9826  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ZrとGaを同時ドープしたZnO透明導電膜を,dcマグネトロンスパッタ法でガラス基板に成長した。ZnO(純度99.99%),ZrO₂(純度99.99%)およびGa₂O₃(純度99.99%)の混合で構成する焼結セラミックスパッタ標的を始物質に用いた。標的に添加したZrO₂およびGa₂O₃の量は,それぞれ3.5および2重量%であった。高純度アルゴンガスの流率は30sccmに固定した。dcパワーは50Wであった。膜の構造特性をX線回折で調べ,また表面形態を走査電子顕微鏡法で分析した。室温紫外可視分光法で光学特性を分析した。デジタル四点プローブ法で電気特性を評価した。ドープした高品質の透明導電性ZnO膜を得た。膜は基板に垂直なc軸方位の選択性を示した。膜の平均的光学透明性は可視域で91%以上であり,また光学バンドギャップは3.46~3.59eVであった。電気抵抗率の最低値は3.01×10^-4Ωcmであり,またスパッタ圧が3~8Pa域で増加すると,電気抵抗率は9.54×10^-4Ωcmから3.01×10^-4Ωcmまで増加した。スパッタ圧が電気抵抗率に大きく影響することが分かった。

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  *化合物半導体 ,  *酸化亜鉛 ,  ドーピング ,  コバルト ,  スパッタ蒸着 ,  マグネトロンスパッタリング ,  液晶ディスプレイ ,  紫外検出器 ,  *光学ギャップ ,  結晶構造 ,  X線回折 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  紫外可視吸収スペクトル ,  *電気抵抗率 ,  圧力効果

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  半導体結晶の電気伝導  (BM03043X)

タイトルに関連する用語 (7件)： LCD ,  液晶ディスプレイ ,  紫外検出器 ,  CO ,  ドープ ,  ZnO ,  透明導電膜