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J-GLOBAL ID：201202213955613369   整理番号：12A1099284

発光分光を用いたパルスAr-N₂およびAr-N₂-H₂マイクロ波サーファガイド放電の時間分解研究

Time-resolved study of pulsed Ar-N₂ and Ar-N₂-H₂ microwave surfaguide discharges using optical emission spectroscopy

著者 (4件)： BRITUN Nikolay (Univ. Mons, Mons, BEL) ,  GODFROID Thomas (Materia Nova Res. Center, Mons, BEL) ,  SNYDERS Rony (Univ. Mons, Mons, BEL) ,  SNYDERS Rony (Materia Nova Res. Center, Mons, BEL)
資料名： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Science and Technology)
巻： 21  号： 3  ページ： 035007,1-10  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： サーファガイド放電装置では,高速ガス流を局所的にマイクロ波により放電させ,放電後の気体を下流のリアクタ領域に導入することにより,活性粒子を通じたプラズマ処理が可能である。標記ガス中で2.45GHzマイクロ波放電させ,発光分光によりAr,N₂,N₂⁺,N,Heの発光の時間変化を観測した。ガス温度,N₂回転・振動温度の注入パワー,放電ガス圧,窒素・水素濃度依存性を調べた。放電中のN₂解離は,主として窒素イオンによる解離再結合に支配される。ガス温度は放電パワーに依存するが,振動温度は主としてN₂とH₂の存在に依存する。微量(~0.2%)のH₂を添加すると,N₂の解離機構と放電中のスペクトル線の時間発展が大きく変化する。この過程は,水素分子によるN₂(A)準安定状態のクエンチングに起因する。

シソーラス用語： プラズマ装置 ,  *マイクロ波放電 ,  *プラズマ分光 ,  プラズマ応用 ,  放電機構 ,  回転温度 ,  振動温度 ,  温度 ,  *プラズマ化学反応
準シソーラス用語： ガス温度 ,  *サーファガイド

分類 (2件)： プラズマ装置  (BJ02082I) ,  気体放電  (BJ03020T)

タイトルに関連する用語 (9件)： 発光分光 ,  パルス ,  Ar ,  N2 ,  H2 ,  マイクロ波 ,  放電 ,  分解 ,  研究