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J-GLOBAL ID：201202214030885322   整理番号：12A1047401

多重X線リソグラフィーに関する新しい処理

A new process of the multiple X-ray lithograph technique

著者 (1件)： IKEDA Hiroyuki (Ritsumeikan Univ., Kusatsu, JPN)
資料名： Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University  (Memoirs of the SR Center, Ritsumeikan University)
号： 14  ページ： 161-166  発行年： 2012年05月 
JST資料番号： L4610A  ISSN： 1345-1650  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多重X線リソグラフィーによるPMMA(ポリメタクリル酸メチル)の三次元加工に関連して,本研究では,立命館大学SRセンターにおけるリソグラフィーについて記した。この方法は,従来の方法と比べて,第二段階の加工が容易にはなるが,亀裂の形成,白色堆積物の生成などの欠点があることを記した。

シソーラス用語： *X線リソグラフィー ,  *ポリメタクリル酸メチル ,  *微細加工 ,  *亀裂 ,  三次元 ,  シンクロトロン放射

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  高分子固体の力学的性質  (CG02023D)

タイトルに関連する用語 (2件)： 多重 ,  X線リソグラフィー