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J-GLOBAL ID：201202214064293300   整理番号：12A0834309

ヘリウム注入に由来するエルビウムとエルビウム重水素化フィルムの微細構造の変化

Microstructure changes of erbium and erbium deuteride films induced by helium implantation

著者 (7件)： SHEN H.h. (Dep. of Applied Physics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN) ,  PENG S.m. (Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  LONG X.g. (Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  XIANG X. (Dep. of Applied Physics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN) ,  ZHOU X.s. (Inst. of Nuclear Physics and Chemistry, China Acad. of Engineering Physics, Mianyang 621900, CHN) ,  YANG L. (Dep. of Applied Physics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN) ,  ZU X.t. (Dep. of Applied Physics, Univ. of Electronic Sci. and Technol. of China, Chengdu 610054, CHN)
資料名： Materials Letters  (Materials Letters)
巻： 80  ページ： 17-19  発行年： 2012年08月01日 
JST資料番号： E0935A  ISSN： 0167-577X  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： エルビウムフィルムは,蒸着によりモリブデン上に堆積し,一つの膜は反応室内で重水素を添加した。ヘリウム原子はイオン注入によりErとErD重水素膜に導入した。ヘリウム注入によって誘起されるErとErD₂相の微構造変化を報告した。その結果は,ErとErD₂の回折線がヘリウム注入後に二つの独立したピークに分裂した。ヘリウムが含まれている層に起因するショルダーピークは低角度にシフトし,純粋なEr及びErD₂膜のピークは変わらないままで,ヘリウム気泡がErとErD₂格子内に存在し,格子をより大きな面内結晶間隔に膨張することを示した。ヘリウム注入ErD₂フィルムの格子膨張は(111)面より(200)結晶面で容易であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *エルビウム ,  *重水素化合物 ,  エルビウム化合物 ,  *薄膜 ,  *電子ビーム蒸着 ,  基板 ,  モリブデン ,  *ヘリウム ,  *イオン注入 ,  微細構造 ,  結晶構造 ,  *結晶格子 ,  *膨張
準シソーラス用語： 重水素化物

分類 (3件)： 金属薄膜  (BK14030T) ,  その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  放射線による構造と物性の変化一般  (BK16121W)

タイトルに関連する用語 (6件)： ヘリウム ,  注入 ,  エルビウム ,  重水素化 ,  フィルム ,  微細構造