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J-GLOBAL ID：201202214086550102   整理番号：12A1727401

光閉じ込めシリコンナノ細孔とナノスクリューデバイスの作製と光学特性評価

Fabrication and optical characterization of light trapping silicon nanopore and nanoscrew devices

著者 (2件)： JIN Hyunjong (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, USA) ,  LIU G Logan (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 12  ページ： 125202,1-4  発行年： 2012年03月30日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 広帯域の吸収を可能にし光閉じ込めのための光電気特性を改善するための多孔質構造を作製した。陽極酸化アルミニウム多孔質テンプレートを用いて,ナノポアとナノスクリュー三次元構造をSi基板上に作製した。前者はエッチングと不動態化が同程度で,後者はエッチング速度が速い場合に作製される。ナノスクリュー構造では光の屈折率が傾斜分布を示し,拡散反射率が可視光域で2.2%と非常に低くなる。拡散反射率の波長特性を分光光度計で様々なナノポアの深さに対して実施し,走査型電子顕微鏡で観察した微細構造と比較検討した。同じマスクでエッチング速度を変えて種々のナノ多孔質構造を実現でき,著しく効率の良い反射防止や光閉じ込めできる正反射率や拡散反射率の抑制ができることを示した。ナノシリコン構造を調整すると光の反射ピーク波長と強度は300から800nmの波長範囲で変えられる。この調整可能な光子捕獲シリコン構造は,半導体光電デバイスの性能を向上させる可能性を持つ。

シソーラス用語： *ケイ素 ,  *細孔 ,  光電気化学 ,  アノード酸化 ,  酸化アルミニウム ,  多孔性 ,  *鋳型効果 ,  *ナノ構造 ,  エッチング ,  屈折率 ,  防止 ,  *閉込め ,  反射率
準シソーラス用語： シリコン ,  *ナノ細孔 ,  陽極酸化 ,  *ナノスクリュー ,  反射防止 ,  *光閉込め ,  拡散反射率

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光閉じ込め ,  シリコン ,  ナノ細孔 ,  作製 ,  光学特性評価