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J-GLOBAL ID:201202214098093289   整理番号:12A1121485

ナノテクノロジーが推進するプラスチックの高機能化 ナノインプリント実用化技術〈曲面ナノインプリントからマクロ検査技術まで〉

著者 (1件):
資料名:
巻: 63  号:ページ: 12-16  発行年: 2012年08月10日 
JST資料番号: F0254A  ISSN: 0555-7887  CODEN: PRSKAW  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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最近,基礎研究から実用化フェーズに移り,次世代超微細技術として再び注目を浴びているナノインプリント技術に関して,その現状と将来展望を解説する。ナノインプリントは微細パターンを有する金型を基板上の熱可塑性樹脂又はUV硬化樹脂薄膜に押し付けるプロセスである。本技術が注目される最大の理由は最先端フォトリソ技術の解像度を凌駕する超微細パターン(<50nm)の形成を実現している点にある。当社はナノインプリント加工を施した細胞培養プレートを開発して,国内外の創薬メーカー向けに供給を行っている。培養面にナノ構造を施すことにより従来の二次元状の培養と全く異なる三次元状の細胞培養を可能にした。また,曲面へのナノインプリント技術の開発を進めて,レンズ曲面への無反射構造の形成に成功した。同加工によりフレアやゴーストといった現象を抑えることが可能になる。最後に,本技術の実用化の進展にあわせて,正確な製品検査のために欠陥部をコントラストの差として捉えるマクロ検査装置を提供することが可能になった。
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分類 (2件):
分類
JSTが定めた文献の分類名称とコードです
固体デバイス製造技術一般  ,  その他の成形 

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