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J-GLOBAL ID：201202214111191490   整理番号：12A1258041

低温超音波スプレー法を用いた多層カーボンナノチューブ薄膜の拡張ゲート電界効果トランジスタのpHセンシング特性

The pH Sensing Characteristics of the Extended-Gate Field-Effect Transistors of Multi-Walled Carbon-Nanotube Thin Film Using Low-Temperature Ultrasonic Spray Method

著者 (7件)： CHIEN Yun-Shan (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  YANG Po-Yu (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  TSAI Wan-Lin (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  LI Yu-Ren (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHOU Chia-Hsin (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  CHOU Jung-Chuan (National Yunlin Univ. Sci. and Technol., Yunlin, TWN) ,  CHENG Huang-Chung (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 7  ページ： 5423-5428  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多層カーボンナノチューブ(MWCNT)に基づく拡張ゲート電界効果トランジスタ(EGFET)をpHセンサとして作製するための斬新で簡単な低温超音波スプレー法を開発した。適切な堆積時間で作製したMWCNT構造を使用したEGFETは,51.74mV/pHの高電圧感度,0.84μA^1/2/pHの電流感度,0.9948の線形性とpH=1から13までの広いセンシング範囲をもつ。これはよく組織化したネットワークと一様なセンシングサイトによるものである。

シソーラス用語： *多層カーボンナノチューブ ,  *FET【トランジスタ】 ,  線形性 ,  *pHセンサ ,  バイオセンサ ,  熱CVD ,  電子顕微鏡観察
準シソーラス用語： 電界効果トランジスタ ,  *超音波噴霧 ,  HRTEM法 ,  FE-SEM ,  走査電子顕微鏡法

分類 (2件)： トランジスタ  (NC03070N) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (10件)： 低温 ,  超音波 ,  スプレー法 ,  多層カーボンナノチューブ ,  薄膜 ,  拡張 ,  ゲート ,  電界効果トランジスタ ,  pH ,  センシング