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J-GLOBAL ID：201202214163884566   整理番号：12A1253197

高感度H₂Sガスセンサとしての噴霧熱分解によるナノ構造化SnO₂薄膜に対する厚さの効果

Effect of Thickness on Nanostructured SnO₂ Thin Films by Spray Pyrolysis as Highly Sensitive H₂S Gas Sensor

著者 (4件)： PATIL G.E. (KTHM Coll., Nashik, IND) ,  KAJALE D.D. (Arts Commerce and Sci. Coll., Nandgaon, IND) ,  GAIKWAD V.B. (KTHM Coll., Nashik, IND) ,  JAIN G.H. (KTHM Coll., Nashik, IND)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 8  ページ： 6192-6201  発行年： 2012年08月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 異なる前駆体溶液量(10,20,30ml)の噴霧熱分解法で三種類のナノ構造化SnO₂薄膜をガラス基板上に形成した。XRDとAFMおよびマイクロ重量測定から求めた平均結晶サイズと平均結晶粒サイズおよび厚さはそれぞれ13~24nmと14~29nm,0.286~0.460μmであった。吸収係数から求めたバンドギャップは375~3.50eVであった。導電率の活性化エネルギーや熱電能を求めた。これらの薄膜のH₂Sガス検知性能を調べた。H₂Sガスに対する応答はいずれも150°Cで最大であった。150°Cにおける他のガスに対する選択性は溶液量20mlの薄膜が最良であった。溶液量30mlの薄膜が最も感度がよく,高速で応答する。

シソーラス用語： *硫化水素 ,  *ガスセンサ ,  噴霧法 ,  *酸化スズ ,  *酸化物 ,  *薄膜 ,  依存性 ,  結晶粒 ,  前駆体 ,  ナノ構造 ,  基板 ,  電気装置部品 ,  X線回折 ,  原子間力顕微鏡 ,  重量測定 ,  バンドギャップ ,  電気伝導率
準シソーラス用語： 噴霧熱分解 ,  *二酸化スズ ,  *酸化物薄膜 ,  厚さ依存性 ,  ガラス基板

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  分析機器  (CC02020S)

タイトルに関連する用語 (7件)： 高感度 ,  H2S ,  ガスセンサ ,  噴霧熱分解 ,  ナノ構造 ,  薄膜 ,  厚さ