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J-GLOBAL ID：201202214197080539   整理番号：12A1079831

差動デバイス特性評価のためのマルチモードTRL較正法

Multimode TRL Calibration Technique for Characterization of Differential Devices

著者 (4件)： WOJNOWSKI Maciej (Infineon Technol. AG, Neubiberg, DEU) ,  ISSAKOV Vadim (IMEC, Leuven, BEL) ,  SOMMER Grit (Infineon Technol. AG, Neubiberg, DEU) ,  WEIGEL Robert (Univ. Erlangen-Nuremberg, Erlangen, DEU)
資料名： IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques  (IEEE Transactions on Microwave Theory and Techniques)
巻： 60  号： 7  ページ： 2220-2247  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： C0229A  ISSN： 0018-9480  CODEN： IETMAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 差動デバイスの高周波集積回路に対する特性評価は,ベクトルネットワークアナライザ(以下VNA)を使って行われることが多い。その際,測定基準面を被測定デバイスに直接設けることが困難な場合,脱埋め込み(de-embedding)法により基準面とデバイスの間のエラー回路の影響を除去する。一方,差動デバイスの特性評価法として,マルチモードTRL(thru-reflect-line)較正法が知られているが,その潜在的な能力がまだ明らかになっていない。本論文では,新しい一般化逆縦続行列(generalized reverse cascade matrix)の定式化に基づくマルチモードTRL較正法を提案し,その総合的な解析的導出を行う。こうした定式化により,VNAの較正手順の理解と解釈が簡単になり,また脱埋め込み法におけるエラー回路の相反性や対称性などの仮定を容易に解析できる。また,非終端化のためのマルチモードTRL法の利用について論じる。さらに,得られた結果を踏まえ,実際の測定に関わるいくつかの側面(伝搬定数の決定,反復固有値の問題,反射標準,線路長と位相シフトの関係,モード分解など)について論じる。そして,提案したマルチモードTRL較正法を,CMOSによるオンウエハ較正構造を用いて検証した結果を示す。

シソーラス用語： *マイクロ波集積回路 ,  *ネットワークアナライザ ,  *回路試験 ,  キャリブレーション ,  *回路解析 ,  回路特性 ,  キャラクタリゼーション ,  マイクロ波測定 ,  伝送線路 ,  導波路 ,  伝搬定数 ,  回路行列 ,  相反性 ,  対称性 ,  固有値 ,  位相シフト ,  モード解析 ,  CMOS構造
準シソーラス用語： Sパラメータ ,  モード分解 ,  高周波集積回路 ,  散乱パラメータ ,  ベクトルネットワークアナライザ

分類 (3件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G) ,  半導体集積回路  (NC03162T) ,  回路理論一般  (NA02010M)

タイトルに関連する用語 (5件)： 差動 ,  デバイス特性 ,  評価 ,  マルチモード ,  較正