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J-GLOBAL ID：201202214414181098   整理番号：12A1103086

パルス変調プラズマ中でSi上とPMMA上へ蒸着した非晶質ダイヤモンド様炭素の濡れ性

Wettability of Amorphous Diamond-Like Carbons Deposited on Si and PMMA in Pulse-Modulated Plasmas

著者 (9件)： SUNG Ta-Lun (Lunghwa Univ. Sci. and Technol., Taoyuan, TWN) ,  YANG Jason Hsiao-Chun (Kyushu Univ., Kasuga, JPN) ,  TEII kungen (Kyushu Univ., Kasuga, JPN) ,  TEII Shinriki (Lunghwa Univ. Sci. and Technol., Taoyuan, TWN) ,  TEII Shinriki (Musashi Inst. Technol., Tokyo, JPN) ,  LIU Chung-Ming (Lunghwa Univ. Sci. and Technol., Taoyuan, TWN) ,  TSENG Wan-Yu (National Taiwan Univ., Taipei City, TWN) ,  LIN Li-Deh (National Taiwan Univ., Taipei City, TWN) ,  ONO Shigeru (Tokyo City Univ., Tokyo, JPN)
資料名： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Transactions on Plasma Science)
巻： 40  号： 7,Pt.1  ページ： 1837-1842  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： パルス変調直流メタンプラズマを使って,Siとポリメタクリル酸メチル(PMMA)の基板上へ,基板にかけた負パルス電圧Vの関数として非晶質ダイヤモンド様炭素膜を蒸着した。PMMA上の膜は,Vを高くすると,Ramanスペクトルから,ダイヤモンド様炭素からよりグラファイト炭素へと転移することが分った。両方の膜に対する水接触角は大きく,Vに関係なく79°から94°であることから,炭素結合状態が異なるにも関わらず膜は疎水性であることが分った。水と1-ブロモナフタレンの接触角から膜の自由エネルギー測定した。大きい分散成分と小さい極性成分が観測され,小さい極性成分は非極性C-H結合を形成する表面サイトが水素で飽和するため生じると説明した。これが疎水性挙動の原因となる。

シソーラス用語： ケイ素 ,  ポリメタクリル酸メチル ,  *DLC膜 ,  非晶質 ,  *プラズマCVD ,  蒸着膜 ,  Ramanスペクトル ,  グラファイト ,  *接触角 ,  疎水性 ,  自由エネルギー ,  濡れ ,  アルカン
準シソーラス用語： PMMA ,  水接触角 ,  濡れ性

分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固-液界面  (CB12050B)

物質索引 (2件)： メタン ,  1-ブロモナフタレン

タイトルに関連する用語 (8件)： パルス変調 ,  プラズマ ,  Si ,  PMMA ,  蒸着 ,  非晶質 ,  ダイヤモンド様炭素 ,  濡れ性