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J-GLOBAL ID：201202215888675349   整理番号：12A1288848

マグネトロンスパッタリングによる多成分Ti-Si-B-Cの超硬で靱性な複合被覆

Multicomponent TiSiBC superhard and tough composite coatings by magnetron sputtering

著者 (4件)： MISHRA S.k. ,  BHATTACHARYYA A.s. ,  MAHATO P. ,  PATHAK L.c.
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 207  ページ： 19-23  発行年： 2012年08月25日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 45GPaと520GPaの高硬度と弾性率,除荷後弾性回復50%の多成分TiSiBC薄膜を単一ターゲットのマグネトロンスパッタリングにより合成した。膜の厚さは4μm程度であった。膜は0.1未満の摩擦係数を示した。膜はTiB₂,TiとSiを含む相及びTiCのナノ結晶相を含む非晶質マトリックスであり,より高い硬さと弾性率,より高い靱性を示すこととなった。これらの皮膜の硬さの高い値は,非晶質TiSiBC相のマトリックスに埋込まれた小さなナノメータサイズの粒子間の境界の高密度による。ナノインデンテーションで測定した靱性値K_Icは4.5~5MPam^1/2の範囲であった。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン化合物 ,  *ケイ素化合物 ,  *ホウ素化合物 ,  *炭素化合物 ,  *超硬材料 ,  *皮膜 ,  *スパッタ蒸着 ,  *マグネトロンスパッタリング ,  *蒸着膜 ,  被覆 ,  複合材料 ,  微小硬さ ,  弾性係数 ,  弾性 ,  膜厚 ,  摩擦係数 ,  非晶質 ,  ナノインデンテーション ,  ウエハ【IC】 ,  *セラミック被覆 ,  *多成分系 ,  破壊靱性
準シソーラス用語： ケイ素基板 ,  *硬質皮膜 ,  弾性回復 ,  複合被膜

分類 (1件)： 非金属材料へのセラミック被覆  (YC02040K)

タイトルに関連する用語 (5件)： マグネトロンスパッタリング ,  Ti ,  Si ,  靱性 ,  複合被覆