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J-GLOBAL ID：201202216330654597   整理番号：12A0808737

精密線形位置決め用の簡単な新超音波圧電アクチュエータ

Simple new ultrasonic piezoelectric actuator for precision linear positioning

著者 (2件)： SHI Yunlai (Nanjing Univ. of Aeronautics & Astronautics, State Key Lab. of Mechanics and Control of Mechanical Structures ...) ,  ZHAO Chunsheng (Nanjing Univ. of Aeronautics & Astronautics, State Key Lab. of Mechanics and Control of Mechanical Structures ...)
資料名： Journal of Electroceramics  (Journal of Electroceramics)
巻： 28  号： 4  ページ： 233-239  発行年： 2012年06月 
JST資料番号： W1123A  ISSN： 1385-3449  CODEN： JOELFJ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 本研究では,線形変換のための新しい線形圧電アクチュエータを提示した。アクチュエータ駆動の位置決めステージは線形案内と線形圧電アクチュエータから構成され,非常に簡単な小型構造である。最初,線形圧電アクチュエータの動作原理を説明し,その後,位置決めステージの特性評価を行った。実験から,ステップサイズが調整可能であり,最小値は開ループ状態で100gの慣性質量で26nmであることが分かった。アクチュエータ駆動によるステージ動作は,閉ループ状態の10mmの走行距離において330ms以内で,<±1μmで目標位置に制御できた。Copyright 2012 Springer Science+Business Media, LLC Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： セラミック ,  *圧電材料 ,  機能性セラミック ,  *アクチュエータ ,  圧電素子 ,  位置決め ,  *位置決め装置 ,  制御 ,  超音波 ,  線形性 ,  原理 ,  案内装置 ,  精度 ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  圧電セラミック
準シソーラス用語： 圧電アクチュエータ ,  位置決め制御 ,  動作原理 ,  リニアステージ ,  位置決め精度 ,  PZT【鉛化合物】

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (3件)： 線形 ,  超音波 ,  圧電アクチュエータ