文献

J-GLOBAL ID：201202216621259784   整理番号：12A0266009

ゾル-ゲル法で調製した多孔質WO₃-Cr₂O₃薄膜を用いた選択的アセトンガスセンサ

Selective acetone gas sensors using porous WO₃-Cr₂O₃ thin films prepared by sol-gel method

著者 (4件)： GAO Peng ,  JI Huiming ,  ZHOU Yugui ,  LI Xiaolei
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 520  号： 7  ページ： 3100-3106  発行年： 2012年01月31日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： WO₃-Cr₂O₃半導体薄膜をゾル-ゲル法で調製し,アセトンガスセンシング特性を調べた。WO₃-Cr₂O₃薄膜について,酸素雰囲気中で500°Cでの1時間の焼結後に急冷し,単斜相を得た。電界放出型走査電子顕微鏡法を用いて,多孔質構造を観測し,電気的性質を電気伝導率測定によって調べた。これら薄膜のアセトンガスセンシング特性は,この多孔質構造,Cr₂O₃含量,焼結温度,および冷却法に強い影響を受けることが分かった。調製したままのWO₃-Cr₂O₃薄膜は,優れたアセトンガスセンシング特性を示し,空気中での最大感度は,320°Cで約8.91であり,速い応答および回復を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  膜 ,  *複合材料 ,  *酸化タングステン ,  *酸化クロム ,  *半導体薄膜 ,  ゾル-ゲル法 ,  焼結 ,  X線回折 ,  結晶構造 ,  電子顕微鏡観察 ,  走査電子顕微鏡 ,  雰囲気 ,  感度 ,  濃度依存性 ,  ドーピング ,  単斜晶系 ,  電気伝導率 ,  脂肪族ケトン ,  三酸化タングステン ,  酸素雰囲気 ,  多孔質膜 ,  電界放出型走査電子顕微鏡

分類 (2件)： 実験操作・装置(化学一般)  (CA02000Q) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

物質索引 (1件)： アセトン

タイトルに関連する用語 (7件)： ゾル-ゲル法 ,  調製 ,  多孔質 ,  Cr2O3 ,  薄膜 ,  アセトン ,  ガスセンサ