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J-GLOBAL ID:201202216660636293   整理番号:12A1713709

n-デカンからRF-PECVDによって合成された水素化ダイヤモンド状炭素膜の研究

Study on the Hydrogenated Diamond-Like Carbon Films Synthesized by RF-PECVD from n-decane
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資料名:
巻: 31  号:ページ: 581-585  発行年: 2012年12月 
JST資料番号: E0587B  ISSN: 0164-0313  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)

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