文献

J-GLOBAL ID：201202216770255147   整理番号：12A0543007

イオンビーム支援硬質窒化物薄膜の作製と特性評価

Synthesis and Characterization of Hard Nitride Films by Ion Beam Assisted Deposition Technique

著者 (3件)： 内田仁 (兵庫県大) ,  花木聡 (兵庫県大) ,  中谷正憲 (兵庫県大)
資料名： プラズマ応用科学  (Applied Plasma Science)
巻： 19  号： 2  ページ： 85-92  発行年： 2011年12月 
JST資料番号： L4460A  ISSN： 1340-3214  CODEN： POKAFE  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： PVD法の一種であるイオンビーム支援蒸着(IBAD)による,硬質窒化物TiN,BN,(Ti,Al)N及び(Ti,B)N薄膜の作製及び特性評価を述べた。はじめに,イオンビーム支援蒸着法の原理及び特徴について述べた。次に,二元系薄膜,TiN及びBN,及び三元系薄膜,(Ti,Al)N及び(Ti,B)N,について,走査電子顕微鏡,X線光電子分光,Fourier変換赤外分光,Knoop硬度,Auger電子分光,及びXAFSによる特性評価を述べた。最後に,硬質窒化物薄膜の機械的特性,密着性,及び疲労硬度を述べた。

シソーラス用語： *窒化物 ,  イオンビーム蒸着 ,  チタン化合物 ,  窒化ホウ素 ,  アルミニウム化合物 ,  ホウ素化合物 ,  キャラクタリゼーション ,  XAFS ,  X線光電子スペクトル ,  Augerスペクトル ,  *セラミック被覆 ,  赤外吸収スペクトル ,  *微小硬さ ,  柱状晶 ,  優先配向 ,  ピンホール ,  ナノインデンテーション ,  密着性 ,  硬質材料
準シソーラス用語： FTIRスペクトル ,  Knoop硬度 ,  *イオンビーム支援蒸着 ,  *窒化チタン

分類 (3件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

引用文献 (32件)：

• 1) S. Miyake, Materia Japan, Vol. 36, (1997) pp. 771-774 (in Japanese).
• 2) C. S. Samantaray, R. N. Singh, Int. Mater. Rev.,Vol. 50 (2005) pp. 313-344.
• 3) T. Ikeda, H. Satoh, J. Japan Ins. Met., Vol. 57 (1993) pp.919-925 (in Japanese).
• 4) K. R. Kim, C. M. Suh, R. I. Murakami, C. W. Chung, Surf Coat. Technol.,Vol. 171 (2003) pp. 15-23.
• 5) S. Bhowmick, R. Bhide, M. Hoffman, V. Jayaram, S. K. Biswas, Phil. Mag., Vol. 85 (2005) pp. 2927-2945.

タイトルに関連する用語 (7件)： イオンビーム ,  支援 ,  硬質 ,  窒化物 ,  薄膜 ,  作製 ,  特性評価