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J-GLOBAL ID：201202217194645941   整理番号：12A1557336

スリット・アンド・スライダー構造の,エレクトレットに基づくMEMS振動エネルギーハーベスタ

Analysis of Electret-Based MEMS Vibrational Energy Harvester With Slit-and-Slider Structure

著者 (7件)： SATO Norio (Nippon Telegraph and Telephone Corp.(NTT), Atsugi, JPN) ,  SATO Norio (NTT Electronics Corp., Yokohama, JPN) ,  ONO Kazuyoshi (Nippon Telegraph and Telephone Corp.(NTT), Atsugi, JPN) ,  SHIMAMURA Toshishige (Nippon Telegraph and Telephone Corp.(NTT), Atsugi, JPN) ,  KUWABARA Kei (Nippon Telegraph and Telephone Corp.(NTT), Atsugi, JPN) ,  UGAJIN Mamoru (Nippon Inst. Technol., Saitama, JPN) ,  SATO Yasuhiro (Nippon Telegraph and Telephone Corp.(NTT), Atsugi, JPN)
資料名： Journal of Microelectromechanical Systems  (Journal of Microelectromechanical Systems)
巻： 21  号： 5  ページ： 1218-1228  発行年： 2012年10月 
JST資料番号： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 微小電気機械システム(MEMS)技術に基づく,小型エネルギー回収装置用のスリット・アンド・スライダー構造を提案した。構造はエレクトレット部とMEMS部に分かれ,MEMS部では可動電極が外部振動によりスライドし,受ける電界は固定電極上のスリットで周期的に変調される。周波数1166Hzにおける1m/s²の振動で交流電流170pAを出力した。構造最適化後の本回収装置の出力は2.5x10^-3μW,効率は体積0.018cm³に対して6.1%と予測された。この効率は,体積1cm³のエネルギー回収装置の効率に匹敵する。

シソーラス用語： *エレクトレット ,  *MEMS ,  *振動エネルギー ,  電気機械 ,  *エネルギー供給 ,  間隙 ,  運動機構 ,  有効性 ,  共振周波数 ,  電位分布 ,  特性インピーダンス ,  電荷分布
準シソーラス用語： エネルギーハーベスタ ,  スリット【構造】 ,  スライダ ,  電荷密度

分類 (2件)： 発電一般  (NB03010W) ,  集積回路一般  (NC03161C)

タイトルに関連する用語 (5件)： スリット ,  スライダー ,  エレクトレット ,  MEMS ,  エネルギーハーベスタ