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J-GLOBAL ID：201202217436957820   整理番号：12A0717238

Ba_0.7Sr_0.3TiO₃薄膜の,インピーダンス分光解析と誘電性解析

Impedance spectroscopic and dielectric analysis of Ba_0.7Sr_0.3TiO₃ thin films

著者 (7件)： ROUAHI A. (Grenoble Electrical Engineering Lab. (G2E Lab), CNRS, Univ. of Grenoble (UJF), 25 Rue des Martyrs, BP 166, 38042 ...) ,  ROUAHI A. (Lab. of Materials, Organization and Properties (LMOP), Campus Universities, El Manar, 2092 Tunis, Tunisia) ,  KAHOULI A. (Grenoble Electrical Engineering Lab. (G2E Lab), CNRS, Univ. of Grenoble (UJF), 25 Rue des Martyrs, BP 166, 38042 ...) ,  KAHOULI A. (Lab. of Materials, Organization and Properties (LMOP), Campus Universities, El Manar, 2092 Tunis, Tunisia) ,  SYLVESTRE A. (Grenoble Electrical Engineering Lab. (G2E Lab), CNRS, Univ. of Grenoble (UJF), 25 Rue des Martyrs, BP 166, 38042 ...) ,  DEFAY E. (CEA-LETI, MINATEC Campus, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble Cedex 9, FRA) ,  YANGUI B. (Lab. of Materials, Organization and Properties (LMOP), Campus Universities, El Manar, 2092 Tunis, Tunisia)
資料名： Journal of Alloys and Compounds  (Journal of Alloys and Compounds)
巻： 529  ページ： 84-88  発行年： 2012年07月15日 
JST資料番号： D0083A  ISSN： 0925-8388  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： Pt/BST/Pt/TiO₂/SiO₂構造を持つ多結晶Ba_0.7Sr_0.3TiO₃薄膜をイオンビームスパッタリングで製作した。薄膜を700°Cでポスト焼鈍した。誘電モジュラス特性と電気モジュラス特性を,いろいろな温度(175~350°C)で,広い周波数域(0.1~10⁵Hz)にわたって,インピーダンス分光法で研究した。Nyquistプロット(Z′′対Z′)は,比較的高い温度での,BST薄膜の電気応答への,粒と結晶粒界の両方の寄与を示した。また,温度の上昇に従って,粒の抵抗は減少し,材料は,抵抗の負の温度係数を示した。電気モジュラスプロットは,非デバイタイプの誘電緩和を示した。Z′′とM′′の両方から計算し活性化エネルギーの値は,それぞれ0.86eVと0.81eVで,これは,伝導の原因となる種が同一であることを示している。M′′/M′′_maxのスケーリング挙動は,緩和時間が温度から独立しているという性質を示した。周波数の関数としての,正則化した複素誘電モジュラスとインピーダンスのプロットは,皮膜の短距離ならびに長距離の伝導を示した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *チタン酸塩 ,  *バリウム化合物 ,  *ストロンチウム化合物 ,  ペロブスカイト型結晶 ,  多結晶 ,  多層構造 ,  イオンビームスパッタリング ,  蒸着膜 ,  焼なまし ,  誘電率 ,  電気伝導率 ,  誘電関数 ,  スペクトロスコピー ,  指数関数 ,  誘電緩和 ,  結晶粒界 ,  電気抵抗率 ,  温度依存性 ,  薄膜コンデンサ ,  微細加工 ,  MIM構造 ,  インピーダンス ,  Nyquist線図
準シソーラス用語： *BST【セラミック】 ,  Kohlrausch-Williams-Wattsの式 ,  MIMキャパシタ ,  インピーダンス分光法 ,  リフトオフ ,  複素インピーダンス

分類 (3件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  誘電体一般  (BM05010F) ,  金属-絶縁体-金属構造  (BM03087F)

タイトルに関連する用語 (4件)： 薄膜 ,  インピーダンス ,  誘電性 ,  解析