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J-GLOBAL ID：201202217626498368   整理番号：12A1659816

新しい光学ベース自動フォーカス顕微鏡の設計および実験検証

Design and experimental validation of novel optics-based autofocusing microscope

著者 (3件)： LIU Chien-Sheng (National Chung Cheng Univ., Dep. of Mechanical Engineering, No.168, Univ. Road, Minhsiung Township, 62102, Chiayi ...) ,  HU Pin-Hao (Laser Application Technol. Center Industrial Technol. Res. Inst., R208, No. 8, Gongyan Rd., Liujia Shiang, 734 ...) ,  LIN Yang-Cheng (Laser Application Technol. Center Industrial Technol. Res. Inst., R208, No. 8, Gongyan Rd., Liujia Shiang, 734 ...)
資料名： Applied Physics. B. Lasers and Optics  (Applied Physics. B. Lasers and Optics)
巻： 109  号： 2  ページ： 259-268  発行年： 2012年11月 
JST資料番号： E0501B  ISSN： 0946-2171  CODEN： APBOEM  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： ドイツ (DEU)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： この研究は大きな線形自動フォーカス範囲と早い応答の両方を有する新しい正確な光学ベース自動フォーカス顕微鏡を設計し,特性評価する。セントロイド法を有する従来の光学ベース自動フォーカス顕微鏡と比較して,提案された顕微鏡は2つの光経路,すなわち短い線形自動フォーカス範囲であるが,極度に高いフォーカス精度を提示する1番目の光経路,そして長い自動フォーカス範囲を達成するが,減少したフォーカス精度を提示する2番目の光経路を包含する。2つの光経路は大きな線形自動フォーカス範囲,早い応答,そして高いフォーカス精度を有する自動フォーカス顕微鏡を実現するための自己補正自動フォーカス処理アルゴリズムを使用して組み合わされる。顕微鏡は商用ソフトウェアZEMAXを使用して数値的に特性評価され,それから実験室作成プロトタイプを使用して実験的に確認される。実験結果は,セントロイド法と単一光経路を有する従来の光学ベース自動フォーカス顕微鏡と比べて,提案された顕微鏡はフォーカス精度を減少させることなく,より長い自動フォーカス範囲とより速い応答の両方を達成することを示す。全体的に,この研究で紹介された結果は,提案された顕微鏡が自動光学検査と工業応用に対する理想的な解を提示することを示している。Copyright 2012 Springer-Verlag Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *焦点合せ ,  *光学顕微鏡 ,  経路 ,  光学設計 ,  顕微鏡 ,  精度 ,  アルゴリズム
準シソーラス用語： 光経路 ,  *自動フォーカス

分類 (1件)： 光学顕微鏡,望遠鏡  (QF05050R)

タイトルに関連する用語 (5件)： 光学 ,  自動フォーカス ,  顕微鏡 ,  設計 ,  実験検証