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J-GLOBAL ID：201202218013867685   整理番号：12A1731435

指先電子技術用のケイ素ナノ膜

Silicon nanomembranes for fingertip electronics

著者 (10件)： YING Ming (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  BONIFAS Andrew P (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  LU Nanshu (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  SU Yewang (Northwestern Univ., IL, USA) ,  LI Rui (Northwestern Univ., IL, USA) ,  LI Rui (Dalian Univ. Technol., Dalian, CHN) ,  CHENG Huanyu (Northwestern Univ., IL, USA) ,  AMEEN Abid (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA) ,  HUANG Yonggang (Northwestern Univ., IL, USA) ,  ROGERS John A (Univ. Illinois at Urbana-Champaign, IL, USA)
資料名： Nanotechnology  (Nanotechnology)
巻： 23  号： 34  ページ： 344004,1-7  発行年： 2012年08月31日 
JST資料番号： W0108A  ISSN： 0957-4484  CODEN： NNOTER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 指先に装着できる電気触覚刺激装置(触覚センサ)の材料,作製,及び設計について述べた。ゴム状弾性をもつ指サック形構造の内面或いは外面に,極めて薄い引き延ばし可能のケイ素利用の電子部品とセンサを搭載した。電子部品とセンサは,電極アレイ,ケイ素ナノ膜(SiNM)ダイオード,高感度SiNM歪計,及び触覚センサ用のゴム状弾性をもつコンデンサである。これらの構造,使用材料,及び作製方法を詳述した。有限要素法を用いて,これらの動作を解析し,実験と良く一致することを示した。この技術は,計測器を搭載した手術用手袋のマンマシンインタフェイス等に使用できる。

シソーラス用語： 手指 ,  電子技術 ,  ケイ素 ,  ナノ構造 ,  超薄膜 ,  *触覚センサ ,  素子構造 ,  電気特性 ,  *圧力センサ ,  ナノシート
準シソーラス用語： ナノ膜 ,  指先

分類 (2件)： 力,仕事量,圧力,摩擦の計測法・機器  (AD05050V) ,  筋骨格系・皮膚モデル  (EL02040R)

タイトルに関連する用語 (4件)： 指先 ,  電子技術 ,  ケイ素 ,  ナノ膜