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J-GLOBAL ID：201202218148510671   整理番号：12A0703137

インプリンティング加圧速度による樹脂層形成に関する研究

Study on the Resin Layer Formation According to the Imprinting Pressure Rates

著者 (1件)： JANG Siyoul (Kookmin Univ., Seoul, KOR)
資料名： Journal of Nanoscience and Nanotechnology  (Journal of Nanoscience and Nanotechnology)
巻： 12  号： 2  ページ： 1183-1187  発行年： 2012年02月 
JST資料番号： W1351A  ISSN： 1533-4880  CODEN： JNNOAR  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 下側面がターゲットに同時に接触する平坦金型と240nmだけ長い円柱形突起が先に接触する非平坦金型の二種類の金型によるUVインプリンティング工程中に樹脂層内に生じる圧力をシミュレーションした。金型をターゲットに近づけていくと非平坦金型の方がより速く,より安定に窓開け工程を行えることを示した。次いで,非平坦金型を使った場合の窓開け位置の樹脂残留層厚さ(RTL)の時間的変化を樹脂の粘性や印加圧力,加圧速度などを変えて数値計算した。加圧速度は速ければ,同じ時間で比較してRTLは薄くなり,高粘度の樹脂ほど窓開け工程が加圧速度に影響されることを示した。平坦金型と非平坦金型のRLTの時間変化を同一条件で比較した。

シソーラス用語： 樹脂加工 ,  *押付成形 ,  プレス金型 ,  粘性 ,  加圧 ,  数値計算 ,  液晶ディスプレイ ,  *パターン形成 ,  *光重合型樹脂
準シソーラス用語： *UVナノインプリント ,  *UV硬化性樹脂

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  その他の高分子の反応  (CG03040H)

タイトルに関連する用語 (4件)： インプリンティング ,  加圧 ,  樹脂層 ,  研究