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J-GLOBAL ID:201202218338439612   整理番号:12A1123683

基板で支持された脆性薄膜の競合する座屈破壊モードのマップ

A map of competing buckling-driven failure modes of substrate-supported thin brittle films
著者 (4件):
資料名:
巻: 520  号: 21  ページ: 6576-6580  発行年: 2012年08月31日 
JST資料番号: B0899A  ISSN: 0040-6090  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: オランダ (NLD)  言語: 英語 (EN)
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ポリイミドで支持された薄膜酸化インジウムスズ(ITO)に対する著者らのin situ実験はいくつかの試料においては座屈駆動膜き裂および他の試料のいくつかについては座屈駆動界面剥離が起こることを明らかにしている。個々の座屈駆動破壊モードについての研究は存在するが,与えられた膜/基板構造におけるこれら二つの異なる破壊モードの間の競合を支配する因子は未だ明白になっていない。理論的研究および数値シミュレーションにより,著者らは界面密着度および界面不完全寸法のパラメータ空間において基板で支持された脆性薄膜の競合する座屈駆動破壊モードのマップを描いている。このようなマップは機能性薄膜の機械的耐久性に対する洞察を可能にするものである。例えば,興味深いことに,著者らは強く結合した脆性薄膜はより座屈駆動き裂を起こし易く,これはデイスプレイおよびフレキシブルエレクトロニクスで広く使用されている透明伝導体である脆性ITO薄膜にとってより有害となる。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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分類 (1件):
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酸化物薄膜 

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