メタマテリアル-インスパイアド多チャネル薄膜センサ

WITHAYACHUMNANKUL Withawat; WITHAYACHUMNANKUL Withawat; JARUWONGRUNGSEE Kata; JARUWONGRUNGSEE Kata; FUMEAUX Christophe; ABBOTT Derek

文献

J-GLOBAL ID：201202218476288854 整理番号：12A0871162

メタマテリアル-インスパイアド多チャネル薄膜センサ

Metamaterial-Inspired Multichannel Thin-Film Sensor

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WITHAYACHUMNANKUL Withawat

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WITHAYACHUMNANKUL Withawat

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資料名：

IEEE Sensors Journal (IEEE Sensors Journal)

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巻： 12 号： 5-6 ページ： 1455-1458 発行年： 2012年05月
JST資料番号： W1318A ISSN： 1530-437X CODEN： ISJEAZ 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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標準的なフォトリソグラフィーと化学エッチングを用い,様々な寸法を有する50Ωマイクロストリップ結合型分割リング共振器(SCRR)を用いて4チャネル薄膜センサを作製した。各SCRRの共振周波数は2.07,2.40,2.77,及び3.28GHzであり,高いQ値を示し,Q値は特定領域内に存在する試料に敏感であった。このセンサはエタノールをうまく検出できた。設計原理をLC回路を用いたシミュレーションと実験によって検証した。

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