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J-GLOBAL ID：201202218754479143   整理番号：12A0640164

Shadow moireを基礎としたSEMによる微小構造物の三次元形状計測法の開発~マクロモデルを用いた測定原理の開発~

著者 (3件)： 石原典明 (関大 院) ,  新井泰彦 (関大) ,  山本辰騎 (関大)
資料名： 日本機械学会関西支部定時総会講演会講演論文集  (日本機械学会関西支部定時総会講演会講演概要集)
巻： 87th  ページ： 13.20  発行年： 2012年03月16日 
JST資料番号： L0014A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 光学計測では,光の回折の影響により,横分解能を保証した三次元計測が困難である。この問題を光より波長の短い電子線を用いることで解決する。本手法では走査型電子顕微鏡(SEM)に光学計測の技術を応用した新たな測定原理を開発する。しかし,SEMでは真空中での操作により測定原理の開発が困難である。そこで,大気圧中で取り扱いが容易なマクロモデルを用いて開発を行う。これをSEMに用いる三次元形状計測技術へと発展させる。そして,空間分解能の向上を目指した微小構造物の三次元形状計測法を確立させることが目的である。(著者抄録)

シソーラス用語： *形状測定 ,  *三次元 ,  *構造物 ,  *微細構造 ,  *走査電子顕微鏡

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

タイトルに関連する用語 (8件)： 基礎 ,  SEM ,  微小 ,  構造物 ,  三次元形状計測 ,  開発 ,  マクロモデル ,  測定原理