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J-GLOBAL ID:201202218800355217   整理番号:12A1589096

広帯域応用のためのアルミニウム窒化物における1GHzバルク音響波傾斜交差指形変換器

1GHz Bulk Acoustic Wave Slanted Finger Interdigital Transducers in Aluminum Nitride for Wideband Applications
著者 (3件):
資料名:
巻: 2012  ページ: 638-641  発行年: 2012年 
JST資料番号: C0958A  ISSN: 1075-6787  資料種別: 会議録 (C)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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AlN Lamb波素子の急速な発展に伴い,BAW(バルク音響波)対象製品としてのSAW遅延線素子は実現に向いつつある。本論文では,分数帯域幅7.8%のおよび形状係数1.8を備えた約1GHz動作のAlN Lamb波SFIT(傾斜交差指形変換器)につき報告した。本遅延線構成は広帯域応用分野のソリューションをもたらした。さらに測定データはインパルス応答モデルにより部分的に確立した。また通過帯域における大きなリプルがIDT(櫛型電極)内の反射効果によるものであることを検証した。この効果をIDT内音響不整合を低減する底面浮遊板不使用LFE(横方向電界励起)により緩和することができた。
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分類 (2件):
分類
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音響変換器,その他の機器  ,  窒素とその化合物 
タイトルに関連する用語 (5件):
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