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J-GLOBAL ID：201202218806765743   整理番号：12A1057894

第26回テクノフェスタ ガラス精密研磨用セリアフリーナノ複合砥粒

著者 (1件)： 須田聖一 (ファインセラミックスセ)
資料名： Fine Ceramics Report  (Fine Ceramics Report)
巻： 30  号： 3  ページ： 112-114  発行年： 2012年07月20日 
JST資料番号： L0506A  ISSN： 0911-5269  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： セリア研磨材は光学レンズのみならず,ハードディスク基板,液晶パネル,携帯電話カバーガラスなどの研磨に使用されている。しかし,セリアの産出が局在し,価格高騰などのため供給が安定していない。本稿では,ガラス精密研磨用のセリアフリーナノ複合砥粒の開発について解説した。機械研磨性に優れたZrO₂と化学研磨性に優れたSrZrO₃を複合化することにより,セリア研磨材を上回る表面平滑性を達成した。1)化学研磨性と機械研磨性:セリア研磨材の研磨性のメカニズム,2)ナノコンポジットによる代替砥粒の開発:化学研磨性と機械研磨性の複合化,噴霧熱分解法,ナノ分散粒子,ガラスの研磨特性,研磨速度,表面粗さ。

シソーラス用語： *ガラス ,  *研磨 ,  精密研削 ,  *砥粒 ,  ナノ複合材料 ,  酸化ジルコニウム ,  ジルコニウム酸塩 ,  ストロンチウム化合物 ,  化学研磨 ,  省資源 ,  酸化セリウム ,  表面性状 ,  表面粗さ ,  平滑度 ,  噴霧法 ,  分散粒子 ,  特性 ,  速度 ,  依存性
準シソーラス用語： 精密研磨 ,  ジルコニウム酸ストロンチウム ,  機械研磨 ,  噴霧熱分解 ,  研磨特性 ,  研磨速度 ,  組成依存性

分類 (2件)： ガラスの製造  (YC02020O) ,  研削・研摩材  (YC06020Q)

引用文献 (7件)：

• 1) A. Kaller : Glastech. Ber. Glass Sci. Technol., 71, p174-183 (1998)
• 2) S. Suda, T. Honma, K. Kawahara and K. Kinoshita : Proc. of the 2011 JSPE Spring Meeting, p357 (2011)
• 3) T. Homa, S. Suda, K. Kawahara and K. Kinoshita : Ext. Abst. of the 28th International Japan-Korea Seminar on Ceramics (2011)
• 4) C. Zhang, M. E. Grass, A. H. McDaniel, S. C. DeCaluwe, F. E. Linne, Z. Hussain, G. S. Jackson, H. Bluhm and B. W. Eichhorn : Nature Mater., 9, p944-949 (2010)
• 5) N. Ozawa, M. Ishikawa and M. Kubo : Proc. of the 2011 JSPE Spring Meeting, jp, p355 (2011)

タイトルに関連する用語 (3件)： ガラス ,  精密研磨 ,  複合砥粒