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J-GLOBAL ID：201202218829455040   整理番号：11A1961389

ミクロ光学ジャイロスコープに関する導波路タイプの光学的リング共振器の最適設計および製造

Optimal Design and Fabrication of Waveguide-type Optical Ring Resonator for Micro Optic Gyro

著者 (5件)： Guo Lijun (School of Sci., Changchun Univ. of Sci. and Technol., Jilin, Changchun) ,  Shi Bangren (School of Sci., Changchun Univ. of Sci. and Technol., Jilin, Changchun) ,  Li Baozeng (School of Sci., Changchun Univ. of Sci. and Technol., Jilin, Changchun) ,  Zhao Meng (School of Sci., Changchun Univ. of Sci. and Technol., Jilin, Changchun) ,  Chen Chen (School of Sci., Changchun Univ. of Sci. and Technol., Jilin, Changchun)
資料名： Binggong Xuebao  (Binggong Xuebao)
巻： 31  号： 11  ページ： 1444-1447  発行年： 2010年 
JST資料番号： C2399A  ISSN： 1000-1093  CODEN： BIXUD9  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 中国 (CHN)  言語： 中国語 (ZH)

抄録/ポイント： 導波路タイプの光学的リング共振器は,ミクロ光学のジャイロスコープ(MOG)におけるコア要素であった。それは直接ジャイロスコープの性能に影響を与えて,設計および製造業のキーであった。本論文は,広い角度ビーム伝搬法(WA-BPM)を利用することによって,シリコン基板上で製造されるGeO2-ドープ型シリカ導波管からなるリング共振器の設計を最適化した。この設計結果に基づいて,このリング共振器を,首尾よくプラズマ促進化学蒸着(PECVD)方法を利用することによって製造した。この共振曲線から観察されて,このフィネスは16.7であった。それは,MOGの製造にとっての有用な参考を提供した。Data from the ScienceChina, LCAS. Translated by JST

シソーラス用語： 光学 ,  ジャイロスコープ ,  導波路 ,  *リング共振器 ,  プラズマCVD ,  光伝搬 ,  ウエハ【IC】
準シソーラス用語： ビーム伝搬法 ,  プラズマ促進化学蒸着 ,  シリコン基板

分類 (1件)： 共振器  (NC04050Y)

タイトルに関連する用語 (6件)： 光学 ,  ジャイロスコープ ,  導波路 ,  タイプ ,  リング共振器 ,  最適設計