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J-GLOBAL ID:201202219098174434   整理番号:12A0263988

水素ガスセンシングへの応用のためのタンタル/ポリアニリンコンポジットに基づく化学抵抗型センサーの調製およびキャラクタリゼーション

Preparation and characterization of tantalum/polyaniline composite based chemiresistor type sensor for hydrogen gas sensing application
著者 (3件):
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巻: 37  号:ページ: 3825-3832  発行年: 2012年02月 
JST資料番号: B0192B  ISSN: 0360-3199  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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本論文では水素ガスセンシングへの応用のためのタンタル(Ta)/ポリアニリン(PANI)コンポジット薄膜に基づく化学抵抗型センサーのガスセンシング特性に対する高速重イオン(SHI)照射の効果を報告した。PANIはin situ酸化重合により化学的に合成した。PANIのセンシング薄膜はスピンキャスト法を用いてフィンガータイプの櫛型電極上に堆積させ,さらに薄いTa層をPANI薄膜上に堆積させてTa/PANIコンポジット化学抵抗センサーを調製した。これらの化学抵抗センシング膜を高エネルギーのAu+12イオン(150MeV)で1x109から1x1011イオン/cm2の範囲の種々のフルエンスで照射した。これらのコンポジット薄膜の構造およびモルフォロジー特性を照射の前後でX線回折(XRD)および原子間力顕微鏡(AFM)測定でキャラクタライズした。これらのコンポジット薄膜の電気的性質はI-V特性測定によりキャラクタライズした。コンポジット薄膜センサーの抵抗変化は水素ガスの検出に利用された。SHI照射後のTa/PANIコンポジットセンサーは,照射しない試料に比較して,高い応答値および良好な再現性を有する感度を示すことが観察された。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.
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