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J-GLOBAL ID:201202219968307150   整理番号:12A0839166

バイモルフ・ピエゾ電気・微細加工・超音波変換器の理論的モデリングと等価電気回路

Theoretical Modeling and Equivalent Electric Circuit of a Bimorph Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducer
著者 (3件):
資料名:
巻: 59  号:ページ: 990-998  発行年: 2012年05月 
JST資料番号: H0369A  ISSN: 0885-3010  CODEN: ITUCER  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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バイモルフ・ピエゾ電気・微細加工・超音波変換器(piezoelectric micromachined ultrasonic transducer:PMUT)の電気回路表現として,電気ポテンシャルと電流を持つ電気ポートが,理想トランスフォーマーにより,等価機械力とメンブレン・エッジ角速度を持つ機械ポートに結合されているというモデルを開発した。同一材料でできた同一厚さの2枚のピエゾ電気層が3枚の電極にサンドイッチされた構造を持つこのバイモルフPMUTの動作を,送信モードと受信モードについて論じた。また,円形メンブレンの振動を支配する構成方程式を円柱座標系で示した。更にトランスフォーマー比,クランプ状態・電気インピーダンス,弾性係数低減インピーダンス,及び開放機械インピーダンスなどの,モデルの回路パラメーターを求めた。最後に損失性誘電体から成るPMUTの最大電気音響変換効率を計算した。
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分類 (1件):
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音響変換器,その他の機器 

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