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J-GLOBAL ID：201202220563851012   整理番号：12A0189819

RFスパッタリングにより成長させたWO₃及びMnO₂薄膜からなるNO₂センサの選択性

Study of selectivity of NO₂ sensors composed of WO₃ and MnO₂ thin films grown by radio frequency sputtering

著者 (7件)： ZHANG Chao (Serv. de Sci. des Materiaux, Fac. Polytechnique, Univ. de Mons, Mons, BEL) ,  BOUDIBA Abdelhamid (Serv. de Sci. des Materiaux, Fac. Polytechnique, Univ. de Mons, Mons, BEL) ,  NAVIO Cristina (Plasma Surface Interaction Chemistry, CIRMAP, Univ. de Mons, Mons, BEL) ,  OLIVIER Marie-georges (Serv. de Sci. des Materiaux, Fac. Polytechnique, Univ. de Mons, Mons, BEL) ,  SNYDERS Rony (Plasma Surface Interaction Chemistry, CIRMAP, Univ. de Mons, Mons, BEL) ,  SNYDERS Rony (Materia Nova Res. Centre, Mons, BEL) ,  DEBLIQUY Marc (Serv. de Sci. des Materiaux, Fac. Polytechnique, Univ. de Mons, Mons, BEL)
資料名： Sensors and Actuators. B. Chemical  (Sensors and Actuators. B. Chemical)
巻： 161  号： 1  ページ： 914-922  発行年： 2012年01月03日 
JST資料番号： T0967A  ISSN： 0925-4005  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： MnO₂フィルタを有する薄膜WO₃センサを作製し,ppb領域NO₂センサのためにO₃の干渉を低減した。MnO₂フィルタ,MnO₂+WO₃絶縁層,及びWO₃膜の三層構造を,RFスパッタリングにより堆積した。微細構造,結晶相,及び化学組成を,走査電子顕微鏡,X線回折,及びX線光電子分光によりキャラクタライズした。センサを,湿った空気中で25~200ppb O₃及び50~400ppb NO₂に関して,150~250°Cの温度範囲でテストした。MnO₂フィルタをもつセンサは,NO₂への良好な応答を保ちながら,O₃干渉を低減した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *ガスセンサ ,  *二酸化窒素 ,  *酸化タングステン ,  *酸化マンガン ,  微細構造 ,  化学組成 ,  走査電子顕微鏡 ,  X線回折 ,  X線光電子スペクトル ,  温度依存性 ,  オゾン ,  *RFスパッタリング ,  スパッタ蒸着 ,  誘電体薄膜
準シソーラス用語： 三層構造

分類 (2件)： 分析機器  (CC02020S) ,  酸化物薄膜  (BK14050P)

タイトルに関連する用語 (6件)： RFスパッタリング ,  成長 ,  MnO2 ,  薄膜 ,  NO2 ,  選択性