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J-GLOBAL ID：201202220682541650   整理番号：12A1726106

リサイクル可能なアルミナ鋳型からポリスチレンナノコーンを放出させる制御されたナノスケールの拡散律速化学エッチング

Controlled nanoscale diffusion-limited chemical etching for releasing polystyrene nanocones from recyclable alumina templates

著者 (6件)： LI Juan (Suzhou Inst. Nano-Tech and Nano-Bionics, Chinese Acad. Sci., Suzhou, CHN) ,  ZHOU Chuanqiang (Suzhou Inst. Nano-Tech and Nano-Bionics, Chinese Acad. Sci., Suzhou, CHN) ,  ZHOU Chuanqiang (Yangzhou Univ., Yangzhou, CHN) ,  JIN Xin (Suzhou Inst. Nano-Tech and Nano-Bionics, Chinese Acad. Sci., Suzhou, CHN) ,  PIAO Wen (Suzhou Inst. Nano-Tech and Nano-Bionics, Chinese Acad. Sci., Suzhou, CHN) ,  GAO Xuefeng (Suzhou Inst. Nano-Tech and Nano-Bionics, Chinese Acad. Sci., Suzhou, CHN)
資料名： Chemical Communications  (Chemical Communications)
巻： 48  号： 92  ページ： 11322-11324  発行年： 2012年11月28日 
JST資料番号： D0376B  ISSN： 1359-7345  CODEN： CHCOFS  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 多孔性陽極酸化アルミナ(PAA)の表面にはナノスケールの円錐形の窪みが規則的に,ナノ細孔アレーとして存在し,これをリサイクル可能なナノスケールテンプレートとして使用する,拡散律速化学エッチング処方を開発した。溶融ポリスチレンをPAAテンプレートに充填し円錐形アレーを転写した。次いで,5wt%H₃PO₄で30°C,15分,ナノスケールエッチングすると,テンプレートアレーおよびポリスチレンナノコーンアレー共に非破壊状態で取り出せることが判明した。ポリスチレンナノコーンを脱着後のPAAナノテンプレートは繰返し使用が可能であった。

シソーラス用語： ナノテクノロジー ,  細孔 ,  ポリスチレン ,  *微細加工 ,  アルミナ ,  多孔質体 ,  型枠 ,  板 ,  リサイクル ,  *エッチング ,  拡散律速
準シソーラス用語： ナノ細孔 ,  *超微細加工 ,  多孔質陽極酸化アルミナ ,  テンプレート【型板】 ,  *化学エッチング

分類 (2件)： その他の成形  (YH04090Q) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： リサイクル ,  アルミナ ,  鋳型 ,  放出 ,  ナノスケール ,  拡散律速 ,  化学エッチング