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J-GLOBAL ID：201202221002953351   整理番号：12A1215573

空間光変調器を用いた多点レーザースポットの並列レーザー照射による材料特性の制御

Control of material properties by parallel laser irradiations at multiple laser spots using a spatial light modulator

著者 (8件)： SAKAKURA Masaaki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  TOCHIO Takaya (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SHIMIZU Masahiro (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  YASUDA Naomi (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  OHNISH Masatoshi (Futaku Precision Machinery Ind. Co., Kyoto, JPN) ,  MIURA Kiyotaka (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  SHIMOTSUMA Yasuhiko (Kyoto Univ., Kyoto, JPN) ,  HIRAO Kazuyuki (Kyoto Univ., Kyoto, JPN)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 8243  ページ： 824310.1-824310.8  発行年： 2012年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高繰返しのフェムト秒(fs)レーザー照射によるガラス内部への熱エネルギーの蓄積によって光励起領域周辺のガラスが溶解し,ガラス成分の空間分布が変化する。また,並列レーザー加工システムでは,空間光変調器を用いてレーザービームの空間的位相分布を変調し,多点光スポットを発生させる。ここでは,透明材料内部の並列レーザー加工においては,各光励起領域の間の熱エネルギーや過渡的ストレスの相互作用を,材料特性の空間分布の制御に利用できることを示した。多点励起領域の間の相互作用の応用例として,1)ガラス内部の熱変性の形状と元素の熱分布の形状の制御,2)多点スポットにおいて発生した応力波の干渉による岩塩型結晶内部の転位帯の変性のふたつについて示した。

シソーラス用語： *レーザ加工 ,  パルスレーザ ,  *パルスレーザ照射 ,  ガラス ,  単結晶 ,  特性 ,  空間分布 ,  転位【結晶】 ,  空間光変調素子 ,  相互作用 ,  熱変性 ,  *透明材料 ,  フェムト秒レーザ
準シソーラス用語： 材料特性

分類 (3件)： レーザ照射・損傷  (BK16040S) ,  ガラスの製造  (YC02020O) ,  特殊加工  (QC04000Y)

タイトルに関連する用語 (5件)： 空間光変調器 ,  レーザー ,  スポット ,  レーザー照射 ,  材料特性