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J-GLOBAL ID：201202221101734920   整理番号：12A0295240

可動3Dシリコン微細構造のMEMS適合硬質皮膜技術

MEMS-compatible hard coating technique of moveable 3D silicon microstructures

著者 (5件)： FEKETE Z. (Res. Inst. Technical Physics and Materials Sci., Budapest, HUN) ,  FUERJES P. (Res. Inst. Technical Physics and Materials Sci., Budapest, HUN) ,  KARPATI T. (Res. Inst. Technical Physics and Materials Sci., Budapest, HUN) ,  GAL G. A. B. (Inst. Nuclear Res., Hungarian Acad. Sci., Debrecen, HUN) ,  RAJTA I. (Inst. Nuclear Res., Hungarian Acad. Sci., Debrecen, HUN)
資料名： Materials Science Forum  (Materials Science Forum)
巻： 659  ページ： 147-152  発行年： 2010年 
JST資料番号： D0716B  ISSN： 0255-5476  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： スイス (CHE)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (5件)： 3D ,  シリコン ,  微細構造 ,  MEMS ,  硬質皮膜