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J-GLOBAL ID：201202221146018983   整理番号：12A1112031

MEMS抵抗センシング用周波数変調法

Frequency Modulation Technique for MEMS Resistive Sensing

著者 (3件)： MOHAMMADI Ali (Univ. Newcastle, Newcastle, AUS) ,  YUCE Mehmet Rasit (Monash Univ., Clayton, AUS) ,  MOHEIMANI S. O. Reza (Univ. Newcastle, Newcastle, AUS)
資料名： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sensors Journal)
巻： 12  号： 7-8  ページ： 2690-2698  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 不純物添加ケイ素を用いて熱電センサとアクチュエータを作製できる。今回,400ΩのMEMS電熱センサにおける10Ωの電気抵抗変化を200kHzの周波数変化(350kHz~550kHz)に変換し,周波数復調によってこの周波数変化を電圧変化に変換する高感度読出し回路を開発した。この回路は,VCOを用いて抵抗変化を周波数変化に変換し,PLLを用いて周波数変化を電圧変化に変換する。演算増幅器を用いた代替回路も提案した。高感度性を実証した。

シソーラス用語： *温度センサ ,  MEMS ,  熱電温度計 ,  *周波数変調 ,  *復調器 ,  VCO【発振器】 ,  アクチュエータ ,  高感度 ,  位相同期ループ ,  ケイ素
準シソーラス用語： 電子回路設計 ,  読出回路

分類 (2件)： 温度測定,温度計  (AD06010K) ,  変復調回路  (NC05050F)

タイトルに関連する用語 (3件)： MEMS ,  センシング ,  周波数変調