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J-GLOBAL ID:201202221172313535   整理番号:12A0713679

ナノ電子-光集積回路用のサブ波長CMOS互換プラズモン光検出器の設計

Design of Subwavelength CMOS Compatible Plasmonic Photodetector for Nano-Electronic-Photonic Integrated Circuits
著者 (4件):
資料名:
巻: 24  号: 5-8  ページ: 515-517  発行年: 2012年03月01日 
JST資料番号: T0721A  ISSN: 1041-1135  CODEN: IPTLEL  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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プラズモン導波路はナノ電子-光集積回路における相互接続の理想的候補である。この方式を実現するためにはCMOS技術で製造可能な高速で超小型の光検出器が必要である。ここではハイブリッド誘電体プラズモン導波路用のナノスケール金属-半導体-金属(MSM)光検出器の設計について述べる。このデバイスは2個の金属アルミニウムナノロッドから成り,これがナノアンテナとして働きその空隙は共振キャビティとなる。
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分類 (1件):
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