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J-GLOBAL ID：201202221307465381   整理番号：12A1211785

ZnO系ナノロッドの電流エミッタの電流特性と信頼性

Electrical Properties and Reliability of ZnO-Based Nanorod Current Emitters

著者 (4件)： YAO I-Chuan (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  LIN Pang (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  HUANG Sheng-He (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN) ,  TSENG Tseung-Yuen (National Chiao Tung Univ., Hsinchu, TWN)
資料名： IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology  (IEEE Transactions on Components, Packaging, and Manufacturing Technology)
巻： 2  号： 7/8  ページ： 1143-1150  発行年： 2012年07月 
JST資料番号： W0590B  ISSN： 2156-3950  CODEN： ITCPC8  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ガリウムドーピングプロセスと酸素プラズマ処理を用いて酸化亜鉛(ZnO)の性能を向上させることに成功した。ZnO系ナノロッドエミッタの(002)配向と先端構造の形態をX線回折パターン,電界放射型走査電子顕微鏡および透過型電子顕微鏡での観察により立証した。酸素プラズマ処理によりナノロッドエミッタの酸素空格子点の密度が減少する。また,垂直配向ナノロッドエミッタは仕事関数を減少させ,ガリウムドーピングプロセスにより電子電荷担体密度を増加させる。このようにガリウムドーピングと酸素プラズマを結びつけることにより,先端構造のGZOナノロッドエミッタは,より低いターンオンと閾値電場,より高い電場増強因子および室温で2×10⁴s以上の優れた安定特性等の性能が向上した。さらに,先端構造(溶液中のGa/Znのモル比1%)のナノロッドエミッタは放出特性の顕著な劣化無しに100°Cまで安定に動作することができる。

シソーラス用語： *酸化亜鉛 ,  *ナノロッド ,  *エミッタ【半導体】 ,  *ドーピング ,  空格子点 ,  分子配向 ,  仕事関数 ,  キャリア ,  端部 ,  電流電圧特性 ,  プラズマ ,  改良
準シソーラス用語： ガリウムドープ酸化亜鉛 ,  酸素プラズマ ,  酸素空格子点 ,  垂直配向 ,  性能向上 ,  先端 ,  電荷担体

分類 (4件)： 熱電子放出,電界放出  (BM09020S) ,  その他の電気・電子部品  (NA05090R) ,  半導体の格子欠陥  (BK12040Q) ,  金属酸化物及び金属カルコゲン化物の結晶構造  (BK07020Y)

タイトルに関連する用語 (3件)： ZnO ,  ナノロッド ,  エミッタ