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J-GLOBAL ID：201202221361109280   整理番号：12A1692033

高度に透明導電性の多層としてのZnS-SiO₂/Ag/ZnS-SiO₂の研究

Investigation of ZnS-SiO₂/Ag/ZnS-SiO₂ as high stable transparent and conductive multilayer films

著者 (3件)： LONG Guoyun (Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN) ,  LONG Guoyun (Graduate School of Chinese Acad. of Sciences, Beijing 100039, CHN) ,  GENG Yongyou (Shanghai Inst. of Optics and Fine Mechanics, Chinese Acad. of Sciences, Shanghai 201800, CHN)
資料名： Applied Surface Science  (Applied Surface Science)
巻： 263  ページ： 546-552  発行年： 2012年12月15日 
JST資料番号： B0707B  ISSN： 0169-4332  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 室温でのマグネトロンスパッタリングによりK9ガラス基板上に新し透明導電性多層膜ZnS-SiO₂/Ag/ZnS-SiO₂を作った。ZnS-SiO₂/Ag/ZnS-SiO₂を理論的に設計し各層の最適厚みを(45nm/11nm/45nm)と求めた。光学的性質と電気的性質をさらに改善するために種々の温度で試料を焼きなました。ZnS-SiO₂/Ag/ZnS-SiO₂多層膜の光学的,電気的および構造的性質を解析した。その結果,アニーリング温度が200°Cであるとき試料は低いシート抵抗9.7Ω/sqと高い透過率88.4%を見せることを示した。200°Cで焼きなました試料については可視域(380~780nm)での平均透過率は84.1となった。試料への湿度と温度の効果を加速試験で評価した。結果はZnS-SiO₂/Ag/ZnS-SiO₂多層膜の高い湿気と温度に対する安定性を実証した。Copyright 2012 Elsevier B.V., Amsterdam. All rights reserved. Translated from English into Japanese by JST.

シソーラス用語： *透明導電膜 ,  *多層膜 ,  *硫化亜鉛 ,  銀 ,  マグネトロンスパッタリング ,  *スパッタ蒸着 ,  焼なまし ,  *シート抵抗 ,  *透過率 ,  *光学定数 ,  加速試験 ,  湿潤 ,  温度 ,  *二酸化ケイ素 ,  耐湿性 ,  熱安定性 ,  化合物半導体 ,  誘電体
準シソーラス用語： アニーリング温度

分類 (2件)： 光物性一般  (BM08010A) ,  半導体と絶縁体の電気伝導一般  (BM03041P)

タイトルに関連する用語 (6件)： 導電性 ,  多層 ,  ZnS ,  SiO2 ,  Ag ,  研究